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碳化硅悬臂桨/光伏悬臂桨

时间:2020-11-22 作者:admin 来源:本站

反应烧结碳化硅悬臂浆,是半导体晶圆装载系统的关键部件。光伏新能源行业用的碳化硅桨,主要规格2378,2550,2660、3560、3580、3750毫米等,应用在扩散炉中对多晶硅硅片或单晶硅硅片的(扩散)涂层过程中,对硅片在高温环境中(1000---1300℃)的承载输送作用。
  悬臂浆性能稳定,在高温环境下不变形,晶圆装载力大,适用于机器人自动装载和搬运系统。由于悬臂浆截面稳定不变形,使得利用现有的炉管制备更大规格晶圆成为可能。悬臂浆与LPCVD涂层的热膨胀系数相近,应用于LPCVD,极大地延长了维护清洗的周期,并大幅减少污染物。